免修剪型柔性砂轮对硬脆质料的磨削特性

详细内容

磨削加工中的振动是影响磨削精度的紧张因素之一。对付磨削中砂轮振动对加工工件精度影响的切磋，某文献中作了叙述。为了消除砂轮振动的影响，笔者在另一文献发起一种布局大略，采取特别砂带作为磨削东西同时具备柔性砂轮的消振性能的新式柔性砂轮。本文对这种新式砂轮的磨削特性连续举行切磋。
实行条件

磨床
柔性砂轮
橡胶环
工件
磨削液冈本g—52
电镀金刚石#140
#50
石英105mmX4.1mm
2%水溶冷却液

平凡磨削砂轮速率v=1200m/min
进给量δ=100,200μm/次
走刀速率v=5,3.6m/min
当量切深gm/2a=9.3X10-5

深刻磨削砂轮速率v=1200m/min
进给量δ=5000μm/次
走刀速率v=0.4m/min
当量切深gm/2a=5.3X10-5

1实行配置及条件根据柔性砂轮高效的磨削特性，将免修剪柔性砂轮应用于对半导体石英基板的磨削中。实行以高效磨削为目标，采取大进给量磨削和深刻磨削方法。切磋磨削进程中砂轮的磨削力、磨削精度、砂轮的磨损及外貌磨粒的变化环境。实行中采取kistler5011型动力计丈量磨削力；由keyencelt8000非打仗式激光丈量仪丈量砂轮的圆周精度和磨损量。实行条件如附表所示。2磨削实行

大进给量磨削以附表中的磨削条件设定：砂轮磨粒确当量切深gm/2a=9.3X10-5。第一次磨削进给量δ1=100μm/次、走刀速率v1=5m/min；第二次磨削进给量δ2=200μm/次、走刀速率v2=3.6m/min。磨削加工能率z′为

z′=δ.v(1)


式中　δ——磨削进给量，μm/次v——走刀速率，m/min由实行条件得z′1=8.3mm3/mm.s;z′2=12mm3/mm.s。图1为实行测得的磨削力和工件往除量干系弧线。从图中弧线可以得出：当磨粒确当量切深gm/2a稳固时，变化磨削进给量δ对法向磨削力fn的影响不大。当进给量δ减小时，切向磨削力ft增大。磨削进程中ft根本稳固，而法向磨削力fn的变化呈线性增大趋势。



图8磨削前后砂轮外貌磨粒变化

5结论针对新式柔性砂轮高效磨削的特性，将其应用于半导体石英基板的磨削。议决大进给量磨削和深刻磨削实行结果得出：
柔性砂轮的法向磨削力fn为通常刚性砂轮的1/10以下，而磨削精度到达雷同程度。柔型砂轮可实现高效磨削，在深刻磨削中加工能率z到达33.3mm3/mm·s。磨削进程中柔型砂轮的磨损量和刚性砂轮处于统一程度。磨削进程中砂轮外貌磨粒产生磨损和破裂较多，法向磨削力fn呈上升趋势。