SAW力和加速度传感器(一)
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这是当前研究和应用得较多的sAws,有延迟线型和振子型两种。
当sAw基片受到外力作用时,由于应力作用使基片的弹性系数和密度发生变化,应力在sAw传播方向上产生应变使图6—19中的L改变,SAw的传播速度和频率也相应地变化。所以这种传感器的灵敏度是由应变引起的长度变化和速度变化影响之和决定的:
这是当前研究和应用得较多的sAws,有延迟线型和振子型两种。
当sAw基片受到外力作用时,由于应力作用使基片的弹性系数和密度发生变化,应力在sAw传播方向上产生应变使图6—19中的L改变,SAw的传播速度和频率也相应地变化。所以这种传感器的灵敏度是由应变引起的长度变化和速度变化影响之和决定的: