压电式谐振传感器

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利用压电材料的正、逆压电效应可做成多种压电传感器。由于石英晶体具有稳定的固有振动频率，当强迫振动额率等于其固有振动频率时，使产生谐振，因此利用这一特性可组成石英品体频率传感器。
用不同尺寸的石英品片和不同的振动模式可以做成标称频率从几千赫到几百兆赫的石英谐振器。它具有很多优点：体积小和重量轻，稳定性好；Q值可达40000，动态响应好抗干扰能力强(不受外界磁场干扰，灵敏度温漂为4xlo‘％／℃)，加速度灵敏度达8xIo‘／5。
石英晶体的振动模式有：长度伸缩、弯曲、面切变相厚度切变振动模式等。其中厚度切变振动模式是石英晶体谐振式压力传感器应用的主要振动模式。